氧化铝陶瓷表面金属化新方法

• 作者: 刘洋 宁晓山 李国才 李莎 毕娜 王波
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铝 氧化铝 热浸镀 润湿 界面
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷和封接工艺专辑
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TB756
• 字数: 1978字
• 语种: 中文

摘要

由于铝与氧化铝陶瓷的润湿性很差,铝与氧化铝陶瓷的连接十分困难.本文采用热浸镀铝工艺,将陶瓷插入熔融铝液中定向移动后移出,可以在陶瓷表面形成一层厚度为数微米的铝膜.在热浸镀工艺中,通过调整热浸镀炉内气氛中的氧含量,可以防止界面氧化以及降低铝液表面能.使用高分辨透射电镜观察铝膜和陶瓷的连接界面,发现界面处无非晶态氧化层,铝在氧化铝表面外延生长.研究表明,热浸镀工艺中的低氧富铝环境会导致氧化铝表面发生重构,促进了氧化铝-铝体系的润湿.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王波	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	59	547	13.0	21.0
2	宁晓山	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	25	267	10.0	15.0
3	刘洋	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	71	308	9.0	16.0
4	李国才	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	2	5	2.0	2.0
5	李莎	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	3	145	2.0	3.0
6	毕娜	清华大学材料学院陶瓷国家实验室	1	2	1.0	1.0