正弦高压驱动的氩等离子体射流长度和温度特性的研究?

• 作者: 俞永波 屠彦 户玎岚 杨兰兰
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体射流 长度 温度 电子激发温度 外加电压 气流速率 光谱强度
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 730-734
• 页数: 5页
• 分类号: O539|TM89
• 字数: 1949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2015.04.002

摘要

大气压低温等离子体射流的长度和温度是射流的两个重要的参数,利用10kHz的正弦高压驱动在大气环境中产生了稳定的Ar等离子体射流,并对射流的长度特性和温度特性进行了研究。研究发现射流的长度随着外加电压的增加而增加,随着气流速率的增加先增加,到达一定值后又逐渐减小。利用光纤温度计和光谱仪测量并计算了射流的宏观温度以及电子激发温度,发现射流的宏观温度接近室温,而电子激发温度均小于1.5×104 K,基本属于冷等离子体范畴,并且它们均随着外加电压的增加而增加。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屠彦	东南大学电子科学与工程学院	87	325	8.0	13.0
2	杨兰兰	东南大学电子科学与工程学院	52	168	7.0	10.0
3	俞永波	东南大学电子科学与工程学院	5	29	3.0	5.0
4	户玎岚	东南大学电子科学与工程学院	4	12	2.0	3.0