四氟化硅的制备与提纯

• 作者: 刘振东 张建刚 曹旭 李焱 陈学航 陈烨 高文龙
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 四氟化硅 氟硅酸盐法 提纯
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1891-1895
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127
• 字数: 4888字
• 语种: 中文

摘要

四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈烨	贵州大学化学与化工学院	19	168	6.0	12.0
2	李焱	贵州大学化学与化工学院	45	285	9.0	15.0
3	张建刚		16	32	3.0	5.0
4	刘振东		6	23	3.0	4.0
5	高文龙		10	28	3.0	5.0
6	陈学航	贵州大学化学与化工学院	4	11	2.0	3.0
7	曹旭	贵州大学化学与化工学院	7	20	3.0	4.0