Ag离子注入ZnO薄膜对其发光性质的影响

• 作者: 刘昌龙 李浩
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 Ag纳米颗粒 离子注入 缺陷 光致发光
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 23-30
• 页数: 8页
• 分类号: TL99
• 字数: 5003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11889/j.0253-3219.2015.hjs.38.080205

摘要

采用磁控溅射技术在蓝宝石基底上制备了ZnO薄膜,并对样品在氧气氛下进行了热处理,然后采用不同能量、剂量的Ag离子注入ZnO薄膜中,形成Ag纳米颗粒.利用X射线衍射、光致发光、紫外可见吸收等技术详细地研究了样品的结构与发光性质.结果表明,未注入的ZnO薄膜在380 nm和610 nm处出现发光峰,分别对应ZnO激子峰与深能级缺陷峰.Ag离子注入ZnO样品的激子发光峰增强,并在400 nm和430 nm左右处出现新发光峰,同时深能级缺陷引起的发光峰减弱.在N2气氛下退火处理后,Ag离子注入ZnO样品在400 nm处的发光峰消失,430 nm左右发光峰减弱.Ag离子注入ZnO薄膜中合成了Ag纳米颗粒,观察到了Ag纳米颗粒的等离子共振效应.对Ag纳米颗粒和离子注入产生的缺陷、ZnO发光性质的影响给出了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘昌龙	天津大学理学院	20	33	3.0	4.0
3	李浩	天津大学理学院	17	79	5.0	8.0