应用于相变存储器的Cu-Ge3Sb2Te5薄膜的结构及相变特性研究?

• 作者: 吕业刚 孙景阳 戴世勋 汪伊曼 沈祥 王东明 王国祥 王苗
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 薄膜 相变 结构
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 016103-1-016103-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.64.016103

摘要

采用磁控溅射法制备了不同Cu含量的Cu-Ge3Sb2Te5薄膜，原位测试了薄膜电阻与温度的关系，并利用X射线衍射仪、透射电镜、透过和拉曼光谱仪分别研究了Cu-Ge3Sb2Te5薄膜的晶体结构、微结构、禁带宽度及成键情况。结果表明， Cu-Ge3Sb2Te5薄膜的结晶温度和结晶活化能随着Cu含量的增加而增大， Cu的加入有效改善Ge3Sb2Te5薄膜的热稳定性和10年数据保持力。随着Cu含量的增加，非晶态Cu-Ge3Sb2Te5薄膜的禁带宽度逐渐减小。同时，拉曼峰从129 cm?1向127 cm?1处移动，这是由于Cu—Te极性键振动增强的缘故。 Cu-Ge3Sb2Te5结晶为均匀、相互嵌套的六方Cu2Te和Ge2Sb2Te5相。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈祥	宁波大学信息科学与工程学院	94	345	9.0	13.0
2	戴世勋	宁波大学信息科学与工程学院	147	610	12.0	19.0
3	王国祥	宁波大学信息科学与工程学院	10	37	3.0	6.0
4	孙景阳	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
5	王东明	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
6	吕业刚	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
7	王苗	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
8	汪伊曼	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0