氯硅烷填料式冷凝储存设备的应用探索

• 作者: 余虹呈 刘林 周云山 王金
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 填料式 冷凝储存 氯硅烷
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 探索应用
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 12.3969/j.issn.1004-275X.2015.02.015

摘要

在多晶硅生产中，应用填料式氯硅烷冷凝储存设备对含氯硅烷的尾气进行回收。该冷凝储存设备可以起到一定的除杂作用，提高冷媒冷量的利用率，降低设备的制造成本，最终降低尾气中氯硅烷的回收成本。同时，还起到一定的精馏提纯作用。设备主要由冷凝器、储存罐、填料式塔板以及相应的控制系统组成，通过 DCS 控制系统实现自动控制。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金		2	0	0.0	0.0
5	刘林		1	0	0.0	0.0
6	余虹呈		1	0	0.0	0.0
7	周云山		2	1	1.0	1.0