多孔硅在传感器中的应用研究进展?

• 作者: 刘煌 孙兰兰 张艳华 涂铭旌 肖巍
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 传感器 内表面积
• 年，卷（期）: 2015,（13）
• 页码范围: 62-66,71
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 字数: 5383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.013.011

摘要

多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点，成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展，包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素，并展望了多孔硅传感器的发展方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖巍	重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室	5	3	1.0	1.0
2	张艳华	重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室	11	41	3.0	6.0
3	刘煌	重庆理工大学材料科学与工程学院	2	11	1.0	2.0
7	孙兰兰	重庆理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0