化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构性能的影响

• 作者: 张胤 李洋 杜辉 林媛 梁伟正 高敏
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸钡 介电性能 漏电流 薄膜材料
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 784-788
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 2697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.024

摘要

该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜，并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明，钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相，适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度，减少介电损耗约50%，并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析，并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林媛	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	35	4.0	5.0
3	李洋	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	11	23	3.0	4.0
4	杜辉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	9	4	1.0	2.0
5	高敏	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	13	6	2.0	2.0
6	张胤	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	10	8	2.0	2.0
7	梁伟正	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0