BaxSr1-xTiO3微弧氧化铁电薄膜微观结构及电学性能

• 作者: 唐鹏 张果戈 李文芳 王敏 王晓军
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: BaxSr(1-x)TiO3 电学性能 铁电薄膜 微弧氧化 微观结构
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 778-783
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TN384
• 字数: 2704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.023

摘要

用分析纯Ba(OH)2?8H2O和Sr(OH)2?8H2O配制电解液，采用微弧氧化法在工业纯钛板(99.5%)表面原位生成BaxSr(1-x)TiO3铁电薄膜。研究了Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构、物相组成、表面形貌及表面粗糙度的影响，并对薄膜的介电、铁电性能进行了表征。结果表明，Ba2+/Sr2+对薄膜晶体结构无影响，但随Ba2+含量增加，BaxSr(1?x)TiO3薄膜中x值与理论值偏离越大；随电解液浓度及Ba2+/Sr2+增加，薄膜表面变得疏松，散布的颗粒尺寸增大，表面粗糙度值增加。在Ba2+和Sr2+各为0.2 mol/L时所得薄膜表面平整度及致密性最好，表面粗糙度值最小，其在100 Hz条件下的介电常数为454.8，且具有饱和电滞回线，有较好的商业化应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文芳	华南理工大学材料科学与工程学院	157	1463	20.0	30.0
2	王敏	广东技术师范学院机电学院	14	180	6.0	13.0
4	张果戈	华南理工大学材料科学与工程学院	13	25	3.0	4.0
5	唐鹏	广西大学材料科学与工程学院	16	42	4.0	6.0
6	王晓军	广东技术师范学院机电学院	46	139	6.0	10.0