用粉末靶在玻璃和PI衬底上制备AZO/Ag/AZO薄膜

• 作者: 刘思宁 周艳文 沙天怡
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 粉末靶 有机衬底 多层透明导电薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1300-1306
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4|TM24
• 字数: 5304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153611.1300

摘要

室温下在玻璃和聚酰亚胺两种不同衬底上,采用射频磁控溅射法溅射掺铝氧化锌( AZO)粉末靶和固体Ag靶,制备了两组AZO/Ag/AZO 3层透明导电薄膜,研究了AZO层厚度对不同衬底3层膜结构和光电性能的影响. 结果表明:不同衬底的两组AZO/Ag/AZO薄膜均为多晶膜. 当Ag层厚度不变时,随着AZO层厚度的增加,两组薄膜电学性能变化不大,透射峰向长波方向移动. 玻璃和PI衬底上制备的AZO(30 nm)/Ag (14 nm)/AZO(30 nm)薄膜,在550 nm处的透光率分别为85%和70%,方块电阻分别为2. 6 Ω/□和4. 6Ω/□.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周艳文	辽宁科技大学材料与冶金学院	46	32	3.0	5.0
2	刘思宁	辽宁科技大学材料与冶金学院	5	4	1.0	1.0
3	沙天怡	辽宁科技大学材料与冶金学院	2	1	1.0	1.0