低刚度石英加速度计摆片加工工艺

• 作者: 于洪宇 朱学毅 李立勇 杨稳
• 来源期刊: 物探与化探
• 学科: 工学
• 关键词: 低刚度 摆片加工 研磨 刻蚀 镀膜
• 年，卷（期）: 2015,（z1）
• 页码范围: 44-46
• 分类号: TP212|TG580
• 语种: 中文
• DOI: 10.11720/wtyht.2015.S1.10

摘要

针对高精度石英挠性加速度计对石英摆片性能改进的需求,梳理出在加工制造过程中应克服的工艺难点,对其中的研磨、刻蚀、激光切割、镀膜四个关键工序开展研究,提出各工序具体的工艺实现及采取的工艺措施,最终概括了各工序工艺要领,提出工序融合,互相兼顾的工艺思想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李立勇		11	26	3.0	5.0
2	朱学毅		6	8	1.0	2.0
3	于洪宇		3	3	1.0	1.0
4	杨稳		3	2	1.0	1.0