水环境下激光超声复合加工实验研究

• 作者: 姚燕生 李修宇 王园园 袁根福 陈雪辉
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光超声复合加工 振动辅助 表面质量 刻蚀深度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 224-229
• 页数: 6页
• 分类号: TG665
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20153502.224

摘要

提出并研究了水环境下激光超声复合加工方法,利用该方法对氮化硅陶瓷进行刻蚀加工,加工时对试样施以高频振动.通过实验对比分析激光能量、脉冲宽度、重复频率和超声振动功率等工艺参数对Si3 N4在超声振动辅助与无振动辅助情况下激光刻蚀后的深度及表面质量的影响.研究结果表明,在一定工艺参数范围内,超声振动的加入可明显增加激光超声复合刻蚀的深度,提高光洁度及表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁根福		41	358	11.0	17.0
2	陈雪辉		44	123	7.0	9.0
3	姚燕生		21	138	7.0	11.0
4	王园园		4	12	1.0	3.0
5	李修宇		2	0	0.0	0.0