基于FerroA6M的T/R组件L波段工艺技术研究

• 作者: 田亮 贾少雄 黄旭兰
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC T/R组件 工艺技术 Ferro材料
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1547字
• 语种: 中文

摘要

根据目前市场对T/R组件高可靠性的要求，采用Ferro材料制作T/R组件。根据产品要达到的各方面性能，研究适合它的LTCC工艺。首先对T/R组件工艺技术的研究分成两轮实验，分别采用金浆和银浆浆料系统，每道工序做细致的实验。实验结果显示层压后出现分层，烧结完后产品翘曲，效果不佳。然后通过改进工艺技术，尤其是叠片工艺的改进，得到了良好的效果，各方面指标达到产品要求，找到了适合Ferro材料的LTCC工艺。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾少雄	中国电子科技集团公司第二研究所	11	19	3.0	3.0
2	黄旭兰	中国电子科技集团公司第二研究所	2	4	1.0	2.0
3	田亮	中国电子科技集团公司第二研究所	2	20	1.0	2.0