跨尺度微纳米测量仪开发和应用项目启动

• 来源期刊: 江苏现代计量
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米 量仪 计量测试技术 科学仪器设备 科研成果 工作会议 测头 计量技术 国际先进技术 监督检验
• 年，卷（期）: jsxdjl_2015,（4）
• 页码范围: 9-
• 页数: 1页
• 分类号: TH70

摘要

<正>2015年3月20日,国家重大科学仪器设备开发专项"跨尺度微纳米测量仪的开发和应用"项目首次工作会议在上海市计量测试技术研究院举行。"跨尺度微纳米测量仪的开发与应用"项目以我国近年多项创新技术及上海市计测院博士后科研成果为基础,突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈,旨在攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯