MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用

• 作者: 刘梦然 张国军 张文栋 简泽明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) MEMS矢量水听器 流固耦合 透声帽 谐振频率 频带
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1387-1393
• 页数: 7页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 2805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152305.1387

摘要

针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰,使水听器频响曲线失真,工作频带变窄等问题.本文考虑水听器的工作环境,通过研究流体-结构相互作用对透声帽谐振频率进行了分析.首先理论分析流体对结构模态频率的影响,分析显示在流体作用下透声帽谐振频率会降低.然后利用LMS Virtual.lab Acoustics有限元软件对空气中和液体中的MEMS矢量水听器芯片和透声帽进行了模态分析;并利用振动平台和驻波管对有否进行透声帽封装的MEMS矢量水听器进行了测试以验证上述分析.验证结果显示:透声帽在水中的实际一阶谐振频率为550 Hz,与仿真结果非常吻合,表明该谐振频率可使水听器工作频带变窄.实验结果表明:对水听器中透声帽的流固耦合模态分析非常必要,通过准确地获得透声帽在实际状态下的固有频率并预测水听器的接收频响特性,可为改进封装结构提供理论依据,为进一步优化水听器奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	张文栋	中北大学电子测试技术重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	刘梦然	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	20	3.0	4.0
4	简泽明	中北大学电子测试技术重点实验室	5	15	2.0	3.0