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Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系
Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系
作者:
卢智
吴隽
江鑫
贾涓
龚甜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
铝衬底
ZnO薄膜
织构
摘要:
以发生了二次再结晶的高纯Al为衬底材料,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜.研究了溅射工艺及Al衬底取向对ZnO薄膜的影响,分析了Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系.结果显示,当溅射工艺恰当时,高纯Al衬底上可以制备出晶态ZnO薄膜,但Al衬底的取向对ZnO薄膜的结晶性具有更大的影响.Al衬底的轧面上主要为{100}面织构,沉积的ZnO薄膜主要是{0002}面织构和少量的{1120}面织构组分.
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文献信息
篇名
Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
铝衬底
ZnO薄膜
织构
年,卷(期)
2015,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1354-1358
页数
5页
分类号
O484
字数
2845字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
贾涓
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
56
144
6.0
10.0
2
吴隽
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
18
27
3.0
4.0
3
龚甜
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
7
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4
江鑫
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
3
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卢智
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
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2015(1)
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铝衬底
ZnO薄膜
织构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
湖北省自然科学基金
英文译名:
Natural Science Foundation of Hubei Province
官方网址:
http://www.shiyanhospital.com/my/art/viewarticle.asp?id=79
项目类型:
重点项目
学科类型:
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