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摘要:
以发生了二次再结晶的高纯Al为衬底材料,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜.研究了溅射工艺及Al衬底取向对ZnO薄膜的影响,分析了Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系.结果显示,当溅射工艺恰当时,高纯Al衬底上可以制备出晶态ZnO薄膜,但Al衬底的取向对ZnO薄膜的结晶性具有更大的影响.Al衬底的轧面上主要为{100}面织构,沉积的ZnO薄膜主要是{0002}面织构和少量的{1120}面织构组分.
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文献信息
篇名 Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系
来源期刊 人工晶体学报 学科 物理学
关键词 铝衬底 ZnO薄膜 织构
年,卷(期) 2015,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1354-1358
页数 5页 分类号 O484
字数 2845字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 贾涓 武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 56 144 6.0 10.0
2 吴隽 武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 18 27 3.0 4.0
3 龚甜 武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 7 31 3.0 5.0
4 江鑫 武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 3 5 1.0 2.0
5 卢智 武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
铝衬底
ZnO薄膜
织构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
湖北省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Hubei Province
官方网址:http://www.shiyanhospital.com/my/art/viewarticle.asp?id=79
项目类型:重点项目
学科类型:
论文1v1指导