一种硅微机械陀螺制造方法研究

• 作者: 赵轶卓
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微陀螺仪 深刻蚀 键合 侧壁
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 413-415
• 页数: 3页
• 分类号: TN30
• 字数: 1581字
• 语种: 中文

摘要

给出了一种硅微机械陀螺制造方法,该方法可适用于各种不同的微机电系统(MEMS)器件,包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等.利用该方法制备了硅微机械陀螺,并给出了该陀螺的性能测试结果.同时分析了利用该方法制备各种不同器件时,工艺流程对器件性能的影响,重点讨论了硅-玻璃阳极键合、减薄工艺及深刻蚀所形成的侧壁质量,包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵轶卓		2	1	1.0	1.0