单层和多层Ehrlich-Schwoebel势垒对薄膜粗糙度随温度变化的影响

• 作者: 伍达将 刘洋 唐吉玉 崔婧 朱永安
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: KMC方法 单层ES势垒 多层ES势垒 生长温度 粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学与光学工程
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2015.03.010

摘要

以Cu为原型,利用动力学蒙特卡洛(KMC)方法模拟了在一定的沉积速率下,单层、多层台阶Ehrlich-Schwoebel (ES)势及温度对成膜质量的影响.结果表明,在一定沉积速率和ES势垒下,薄膜的粗糙度在一定范围内随着温度的升高而降低,当多层ES势垒大于单层ES势垒时,此温度范围受单层ES势垒的影响,而与多层ES势垒关系不大;当单层ES势垒大于多层ES势垒时,多层ES势垒与粗糙度下降的起始温度密切相关,单层ES势垒与粗糙度趋于平稳的温度相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐吉玉	华南师范大学物理与电信工程学院	39	90	5.0	7.0
2	朱永安	华南师范大学物理与电信工程学院	5	14	2.0	3.0
3	刘洋	华南师范大学物理与电信工程学院	15	11	2.0	3.0
4	崔婧	华南师范大学物理与电信工程学院	5	9	2.0	3.0
5	伍达将	华南师范大学物理与电信工程学院	4	7	1.0	2.0