TiO2薄膜的宽光谱特性椭偏法研究

• 作者: 唐帆斌 肖峻 马孜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 TiO2 薄膜 椭偏仪 薄膜厚度 光学常数
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 776-779
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.06.009

摘要

为了获得TiO2薄膜的光学常数，采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪，测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃上的单层TiO2薄膜，得到了TiO2薄膜在300nm～2500nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。根据TiO2的薄膜特性及成膜特点，考虑了表面粗糙层和界面层对薄膜性能的影响，建模时采用Cauchy指数模型和Tauc-Lorentz模型，对建立的各种模型测量得到的数据进行了分析和比较。结果表明，模型“基底／Tauc-Lorentz模型／表面粗糙层”可以得到最小的均方差为0．5544，得到的TiO2薄膜的厚度的测量值与TFCalc软件的计算值最接近。该研究结果对TiO2薄膜多层膜膜系设计和制备有参考价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	肖峻	西南民族大学电气信息工程学院	12	33	3.0	5.0
3	唐帆斌	西南民族大学电气信息工程学院	2	1	1.0	1.0