基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器

• 作者: 李丰 李宏军 陈熙 马文涛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅MEMS腔体 硅体微加工 带通滤波器 梳状结构 谐振器
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 299-303
• 分类号: TH703|TN713.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.05.006

摘要

基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件.开发了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波带通滤波器.采用梳状结构四分之一波长谐振器级联形成微波带通滤波器,利用全波三维电磁场仿真设计软件进行了设计、建模、仿真和优化,并使用微机械加工(MEMS)工艺技术在高阻硅衬底上加工,形成滤波器.仿真和实测结果表明,硅MEMS腔体带通滤波器的尺寸仅为8 mm×4 mm×0.8 mm,质量不足0.1g,并且所得仿真和实测性能结果一致性较好.与传统的金属矩形/圆形波导滤波器以及LC滤波器相比,硅MEMS腔体带通滤波器的体积和质量是前者的几百分之一.此外硅MEMS腔体带通滤波器还具有高抑制度、一致性好及易于集成等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宏军	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	53	5.0	7.0
2	李丰	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	30	3.0	5.0
3	陈熙	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	5	1.0	1.0
4	马文涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	5	1.0	2.0