H2/CH4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响

• 作者: 吴金龙 周晖 张延帅 杨拉毛草 胡汉军 郑军
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: DLC薄膜 H2/CH4 流量比 摩擦 磨损
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 42-48
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.007

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积法在Si(100)基体上制备不同H2/CH4流量比下的类金刚石薄膜,采用拉曼光谱、红外光谱、扫描电子显微镜(SEM)、纳米力学性能综合测试仪以及摩擦磨损试验机对薄膜的组织结构、力学以及摩擦学性能进行了分析.结果表明:该条件下制备的薄膜具有典型的类金刚石结构且膜中氢含量较高,薄膜表面光滑,膜层致密且均匀,薄膜的硬度及与基底的附着力均随着H2/CH4流量比的增加而降低.薄膜在大气环境下具有优异的摩擦学性能,在相同的载荷及转速条件下,H2/CH4流量比对薄膜的摩擦因数影响不大.当载荷为5N时,随着转速的增加,摩擦因数降低;而载荷为10 N时,摩擦因数约为0.05,转速对其影响较小.薄膜的磨损率在10-8～10-7 mm3/Nm之间变化,且随H2/CH4流量比的增加而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周晖	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	30	70	5.0	5.0
2	郑军	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	17	85	5.0	9.0
3	杨拉毛草	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	8	19	4.0	4.0
4	张延帅	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	10	24	4.0	4.0
5	胡汉军	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	2	4	1.0	2.0
6	吴金龙	兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室	2	4	1.0	2.0