扫描电镜在聚合物PMMA微纳结构成像中的应用

• 作者: 刘军山 陈莉
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 工学
• 关键词: 加速电压 工作距离 扫描速度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 2014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2015.05.017

摘要

利用扫描电镜观察不导电聚合物材料上的微纳结构时,样品的导电性和扫描电镜的观察参数设置直接影响了图像质量.在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)样品表面溅射导电层后,研究了加速电压、工作距离和扫描速度对图像质量的影响,在高加速电压、小工作距离和适中的扫描速度下,获得了PMMA微纳沟道的清晰图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军山	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	43	225	8.0	14.0
5	陈莉	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	9	21	4.0	4.0