ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究

• 作者: 吴天准 张权林 汤子康 沈正川 王玉超 苏龙兴
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO单晶 BexZn1-xO合金 紫外探测器 表面处理 分子束外延
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 1233-1239
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153611.1233

摘要

用分子束外延( MBE)的方法在c面蓝宝石衬底上生长出了高质量的ZnO单晶薄膜和Bex Zn1-x O合金薄膜. X射线光电子能谱(XPS)测试结果表明,合金材料中Be元素的摩尔分数分别为1. 8%﹑4. 9%﹑8. 0%和15. 3%. 在此基础上制备了ZnO基和BexZn1-xO基的金属-半导体-金属(MSM)结构紫外探测器. ZnO单晶探测器的响应波长为375 nm,在1 V电压下, 350 nm处的光响应度高达43 A/W,光电流和暗电流之比达到105量级. 在Bex Zn1-x O基紫外探测器中,其截止响应波长随着合金中Be含量的增加逐渐蓝移,其中Be0. 153-Zn0. 847 O合金探测器的截止响应波长为366 nm,紫外波段和可见波段的光电流之比达到2~3个数量级,具有良好的信噪比. 此外,提出了氧气等离子体表面处理降低探测器暗电流的方法,并使ZnO单晶探测器的暗电流降低了4个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤子康	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	7	35	3.0	5.0
3	吴天准	中国科学院深圳先进技术研究院	4	2	1.0	1.0
4	苏龙兴	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	5	8	2.0	2.0
5	张权林	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	4	6	1.0	2.0