用铝丝掺杂溅射ZnO薄膜的光电性能研究

• 作者: 张建鹏 杨明敏 王小龙 高倩 黄美东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 光学性能 载流子浓度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 31-34
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.02.08

摘要

本文采用射频磁控反应溅射法于常温下在硅片和玻璃基片上制备ZnO和掺铝ZnO薄膜,将铝丝置于ZnO靶材上共同溅射来达到掺杂的效果,利用不同长度的铝丝以获得不同的掺杂量.通过X射线衍射法对薄膜进行结构分析,利用紫外-可见分光光度计获得薄膜的透过率光谱,霍尔效应仪测量薄膜的电学性能.发现所制备的样品在可见光区域透过率达到80％以上,达到了透明膜的要求;掺Al后的ZnO膜电阻率最低达到了4.25×10-4 Ω·cm;结构表征发现样品的(002)晶面有明显衍射峰.基于包络线方法通过透射谱拟合计算了薄膜样品的折射率和厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高倩	天津师范大学物理与材料科学学院	7	4	1.0	2.0
2	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
3	王小龙	天津师范大学物理与材料科学学院	5	4	1.0	2.0
4	张建鹏	天津师范大学物理与材料科学学院	6	2	1.0	1.0
5	杨明敏	天津师范大学物理与材料科学学院	6	9	1.0	3.0