PPB级锆基安培型NO气体传感器性能的研究

• 作者: 张帆 朱丽娜 朱卫学 简家文 金涵
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 安培型NO传感器 ppb 时间响应曲线 敏感机理
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1596-1601
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.11.004

摘要

采用丝网印刷技术制备了以In2O3为敏感电极的锆基安培型三电极NO传感器用以探测10-9级NO气体。用X射线衍射仪（XRD）和扫描电镜（SEM）对该传感器进行了理化分析；通过测量其在不同温度和不同NO浓度的气氛中的伏安特性曲线和时间响应曲线，研究了传感器的电流输出信号和NO浓度的关系以及时间响应特性。实验表明：在350℃~500℃测试温度范围内，极化电压为-60 mV，NO浓度变化为0~900×10-9时传感器响应电流的变化值Δcurrent和NO浓度之间存在较好的线性关系并且传感器在400℃时响应值最大。在被测气体总流量为100 cm3/min时，传感器信号90%的响应和恢复时间分别为18 s和12 s。传感器信号不受CO2浓度变化的影响，传感器的响应信号在测试时间里具有较好短期稳定性，但长期稳定性有待进一步提高。本文还采用阻抗谱分析方法对传感器的响应机理进行了初步的探索。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	简家文	宁波大学信息科学与工程学院	56	235	9.0	11.0
2	张帆	宁波大学信息科学与工程学院	11	16	3.0	3.0
3	朱卫学	宁波大学信息科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
4	金涵	宁波大学信息科学与工程学院	5	9	2.0	2.0
5	朱丽娜	宁波大学信息科学与工程学院	3	6	1.0	2.0