Cr/CrN/Cu-TiN膜的成分与性能研究

• 作者: 吴俊杰 吴明忠 孙薇薇 廖平 张德秋 李慕勤
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 偏压 膜基结合力 Cu含量 微纳米结构 疏水抗菌性
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 35-37
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.02.09

摘要

为了使手术器械具有疏水抗菌性,我们在手术器械表面制备了具有微纳米结构的Cr/CrN/Cu-TiN膜.基体表面微纳米化用化学刻蚀法,膜层制备用高功率脉冲磁控溅射法,试样检测用SEM、EDS、接触角测量仪和涂层附着力自动划痕仪等.试样薄膜抗菌元素Cu含量随偏压增大从3.09％降到1.77％;膜基结合力随偏压增大呈先增后减趋势,-50 V时膜基结合力最大,为34 N;比较基体未经刻蚀处理和经过微纳米化刻蚀处理的试样的疏水性,差异明显,前者的水接触角为78°,后者的水接触角为132°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴明忠	佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心	49	107	6.0	7.0
2	廖平	佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心	13	68	5.0	7.0
3	李慕勤	佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心	172	582	13.0	18.0
4	张德秋	佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心	16	9	2.0	2.0
5	吴俊杰	佳木斯大学教育部金属耐磨材料与表面技术工程研究中心	1	1	1.0	1.0