基于三维有限元模型的微测辐射热计TCR及电学性能研究

• 作者: 王涛 蒋亚东 陈超 马加锋
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 有限元分析 电阻温度系数 热电耦合场分析 电学特性
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 895-900
• 分类号: TN215
• 语种: 中文

摘要

微测辐射热计结构的电阻温度系数(TCR)及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响.基于精确的微测辐射热计三雏模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.5～10 μA的直流偏置电流,得到各偏置下的温度及电势相应特性,并由此获取了不同温度下结构的电阻值,进而推导出一定温度内整个模型的TCR,从而为后端读出电路的设计提供参考.最后对实际制备的器件进行测试,验证了该方法的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	陈超	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	22	57	4.0	5.0
3	王涛	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	55	346	11.0	14.0
4	马加锋	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	6	2.0	2.0