影响激光调阻精度的若干因素浅析

• 作者: 吴垠昊 寇玉娟 岳晴瑞 戴思 王丽莎
• 来源期刊: 电子科学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光调阻 激光脉冲 激光切刻 切槽缺陷 调阻精度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 基础电子
• 页码范围: 525-531
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16453/j.issn.2095-8595.2015.05.003

摘要

本文介绍了激光调阻的基本原理和激光调阻系统,激光调阻工艺流程及工艺参数,调阻程序,切刻类型,分析了切槽缺陷和影响激光调阻精度的若干因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽莎		4	0	0.0	0.0
2	寇玉娟		3	9	2.0	3.0
3	吴垠昊		3	0	0.0	0.0
4	戴思		3	0	0.0	0.0
5	岳晴瑞		1	0	0.0	0.0