高功率激光装置中传输镜表面颗粒物去除轨迹的数值模拟

• 作者: 吴永忠 庞向阳 朱健强 李养帅 焦翔
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 高功率激光 污染物除去轨迹 数值模拟 传输镜 洁净度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 88-94
• 页数: 7页
• 分类号: O355|O368
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0102010

摘要

利用Fluent软件,以N-S方程和RNGκ-ε模型为基础,采用离散相模型,对风刀吹扫去除传输镜表面颗粒物污染物的流场,以及吹扫去除过程中颗粒物的运动轨迹进行了模拟,并基于模拟仿真结果搭建了颗粒物污染捕捉和收集的装置,最终提高了传输镜表面污染物的清除效率和洁净度,并且在一定程度上避免了吹扫过程中污染物颗粒进入周围环境以造成对其他光学元器件的污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
2	焦翔	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	1	1.0	1.0
3	庞向阳	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	15	3.0	3.0
4	吴永忠	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	0	0.0	0.0
5	李养帅	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	0	0.0	0.0