N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响

• 作者: 但敏 冯军 沈丽如 童洪辉 赖新春 邓雉 金凡亚 陈美艳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 TiN 非晶化 细化晶粒 硬度 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 714-718
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.06.13

摘要

对钛合金基体上的TiN薄膜进行了不同剂量N离子的注入.利用扫描电镜、X射线衍射对离子注入前后组织进行了分析,并进行了硬度、摩擦磨损实验.结果表明:N离子注入使膜层呈现非晶化趋势,并随剂量增大而增强,当剂量为1.2×1018 ions/cm2时膜层非晶化,晶粒得到了细化;当剂量为9×1017 ions/cm2时变化最明显,尺寸约为20nm以下;表面硬度得到提高,其增幅受到剂量及晶粒细化影响,最大增幅约为163.8 HV;摩擦磨损性能在TiN膜层表面硬度提高、粗糙度降低及长程效应的影响下也得到了较大提高,主要受注入剂量影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	金凡亚		57	226	8.0	12.0
3	沈丽如		52	377	11.0	16.0
4	童洪辉		51	520	10.0	21.0
5	冯军		34	180	4.0	12.0
7	但敏		28	57	4.0	5.0
10	邓雉		1	4	1.0	1.0