一种基于基板缺陷的共面波导电磁带隙结构

• 作者: 孙浩 李凌云 盆天玉
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 电磁带隙 基板缺陷 湿法腐蚀 砷化镓 共面波导
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 918-921
• 分类号: O437
• 语种: 中文

摘要

提出了一种通过湿法腐蚀实现的基板缺陷共面波导电磁带隙结构,并进行了建模仿真、加工和测试.重点研究了基板缺陷结构与传统金属缺陷结构的差异,以及采用湿法腐蚀工艺的优势.实验结果显示:新结构具有明显的电磁带隙特性;与干法刻蚀工艺相比,采用湿法腐蚀工艺加工可以获得更宽的阻带范围和更强的阻带抑制.该结构完整保留了50 Ω共面波导的信号线和接地板金属,可以与传统的金属缺陷结构结合,以获得性能更好的器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李凌云	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	22	86	5.0	8.0
2	孙浩	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	29	72	4.0	6.0
3	盆天玉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	2	1.0	1.0