浅析硅铝靶工艺气体流量对Low-E玻璃钢化前后玻面色差的影响

• 作者: 郭明
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 硅铝靶 工艺气体流量 Low-E玻璃 钢化 玻面色差 溅射功率
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171
• 字数: 3537字
• 语种: 中文

摘要

通过实验,详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩/氮气比例时,Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化,指出为了生产高质量可钢化Low-E玻璃,在硅铝靶使用不同的溅射功率时,如何选择最优的工艺气体流量和氩/氮气比例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		8	4	1.0	1.0