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摘要:
国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级,其产品已向微型化发展。与此同时,外观检测还保持着人工方式,这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此,自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵 CCD 捕获产品原始图像,然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验,该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠,并实现了10 pcs/s的产品图检测及剔除。
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文献信息
篇名 在线自动光学外观检测系统的设计
来源期刊 国外电子测量技术 学科 工学
关键词 控制系统 DSP 边缘检测
年,卷(期) 2015,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 62-65
页数 4页 分类号 TP2
字数 1738字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱艳芹 惠州经济职业技术学院机电工程系 15 26 3.0 4.0
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控制系统
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国外电子测量技术
月刊
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大16开
北京东城区北河沿大街79号2楼
82-141
1982
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