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基于氮化镓GaN硅衬底的LED
基于氮化镓GaN硅衬底的LED
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摘要：
蓝宝石虽然稳坐衬底材料的龙头地位,但随着产业的不断发展,竞争日趋激烈,基于蓝宝石衬底的技术发展变缓,再加上其成本高昂、专利壁垒等问题,众多专家与工程师开始寻求性价比更高的解决方案:不同的衬底材料,硅衬底被业界寄予了很高的厚望.
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腐蚀速率
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从专利视角浅议中国氮化镓技术的产学研融合
氮化镓
产学研融合
专利
专利联合申请
蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究
磁控反应溅射
蓝宝石
氮化硅薄膜
性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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引文网络
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- 二级引证文献（13）
2020(6)
- 引证文献（0）
- 二级引证文献（6）
研究主题发展历程
节点文献
蓝宝石
GaN基
LED
硅衬底
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
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