压力传感器封装中的波纹膜片结构研究

• 作者: 王俊杰 秦会斌
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 封装 波纹膜片 有限元分析
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 1-3,20
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2069字
• 语种: 中文

摘要

针对压力传感器隔离式封装中的波纹膜片这一关键部件，采用有限元分析的方法研究了波纹膜片的厚度、波纹深度和波纹数目分别对最大压力约0.1 MPa下的压力传感器输出信号的影响，优化了波纹膜片结构的参数选择。通过对封装了不同波纹膜片的样品的测试与比较表明，较小的膜厚与波纹深度、较多的波纹数目有助于提高压力传感器的性能，从而验证了波纹膜片结构优化的正确性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦会斌	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	237	1329	17.0	25.0
2	王俊杰	杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所	2	9	2.0	2.0