长方体类光学元件形位误差高精度测量方法

• 作者: 彭小强 戴一帆 郭蒙 铁贵鹏
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 长方体光学元件 形位误差 平行度误差 垂直度误差 修形加工
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 专题:精密工程
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TN95
• 字数: 2965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201506005

摘要

如何实现长方体元件光学面形位误差的高精度测量以及怎样利用测量数据对这些误差进行修正加工是制造过程中的主要问题。提出一种基于波面干涉的长方体类光学元件形位误差测量方法，借助大口径干涉仪和高精度端齿盘搭建测量系统，实现了长方体类光学元件1μm／400mm精度的平行度和垂直度测量，获得了高精度的形位误差综合分布数据，并利用磁流变、小磨头数控抛光等现代光学加工手段实现了此类光学元件的高精度加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
3	彭小强	国防科技大学机电工程与自动化学院	34	661	15.0	25.0
5	铁贵鹏	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	52	3.0	4.0
13	郭蒙	国防科技大学机电工程与自动化学院	2	19	1.0	2.0