超高精度离子束抛光工具设计与性能分析

• 作者: 周林 彭文强 解旭辉 鹿迎
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束修形 聚焦离子光学系统 离子束特性
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 专题:精密工程
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TG664
• 字数: 2969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201506004

摘要

为了解决高精度光学修形问题，进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析，进行计算机仿真研究和中和器一体化设计；研制聚焦离子光学系统和中和器，并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验，将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性，一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
3	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
5	彭文强	国防科技大学机电工程与自动化学院	8	26	3.0	5.0
7	鹿迎	国防科技大学机电工程与自动化学院	1	6	1.0	1.0