Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台

• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 工件台 HS 气浮 圆检测 超精密 应用
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 15-15
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.7

摘要

近来，Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台，适用于晶圆检测和切割应用以及其它超精密运动应用，如平板检测。