折叠波导高频结构UV-LIGA技术研究

• 作者: 伊福廷 刘濮鲲 孙建海 陈振海 马天军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 UV-LIGA 折叠波导 行波管
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 1356-1361
• 分类号: TN124
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.11.14

摘要

真空电子器件的频率越来越高,作为核心部件的折叠波导慢波结构由于具有独特的优点,在真空器件中必将得到广泛的应用.由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越来越严格.传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,而UV-LIGA技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法.本文以220 GHz折叠波导为研究对象,在中科院电子所行波管设计、计算和仿真模拟软件IESTWT1.0平台上,进行了设计和仿真,对高频慢波结构的相关参数进行了优化,并开展了基于SU8厚胶采用嵌丝式UV-LIGA工艺制备折叠波导互作用结构的工艺实验,主要包括无氧铜WAFER制备、大厚度SU8胶匀胶工艺、光刻工艺、嵌丝工艺、电铸以及去胶工艺等参数的摸索.结果表明采用基于SU8系列光刻胶的UV-LIGA方法可以实现折叠波导慢波结构的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建海	中国科学院电子学研究所	20	82	6.0	8.0
2	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
3	马天军	中国科学院电子学研究所	8	19	3.0	4.0
4	陈振海	中国科学院电子学研究所	4	9	2.0	3.0
5	刘濮鲲		25	83	6.0	8.0