大型光学表面纳米精度制造

• 作者: 彭小强 戴一帆 李圣怡
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米精度制造 光学制造 可控柔体抛光 磁流变抛光 离子束抛光
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 专题:精密工程
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TH161
• 字数: 6667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201506001

摘要

纳米精度光学表面在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等领域有重大需求。随着装备性能需求的不断提升，这些光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限，对光学制造技术提出了更高挑战，使光学制造成为纳米制造技术的发展前沿。通过攻克纳米量级材料去除的稳定性、复杂曲面可控补偿和装备运动轴性能设计等关键问题，掌握了以磁流变和离子束抛光技术为代表的可控柔体抛光技术，利用自主研发的抛光制造装备和工艺实现了典型光学零件的纳米精度制造，为国家相关科技项目的顺利实施提供有力的制造技术支撑。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
3	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
5	彭小强	国防科技大学机电工程与自动化学院	34	661	15.0	25.0