基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置的性能研究

• 作者: 张智敏 张跃 胡刚 蒋继乐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 力值计量 微纳力值标准装置 电磁补偿天平 纳米微动台 微悬臂 力传感器
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1779-1784
• 页数: 6页
• 分类号: TH71|TH823
• 字数: 4339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.12.008

摘要

采用基于电磁补偿原理的精密天平，研制了一种微纳力值标准装置。通过高等级的标准砝码对天平进行校准，实现标准装置力值的SI溯源，在500 nN~500μN范围的力值测量标准不确定度小于0.7%。该装置用于对原子力显微镜（AFM）微悬臂弹性常数和微小力值传感器的力值提供准确的溯源。采用多自由度位置调整系统调整被测微悬臂或传感器的位置及俯仰角度，提高了定位准确度。对几种不同弹性常数的AFM微悬臂进行测量，测量结果的标准偏差小于1.6%，满足高准确度微小力值测量的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张跃		52	199	9.0	11.0
2	胡刚		20	52	4.0	6.0
3	张智敏		28	78	6.0	8.0
4	蒋继乐		6	2	1.0	1.0