大学研究型物理实验教学的实施与探讨--以 PECVD 技术制备硅基薄膜为例

• 作者: 毛艳丽 田建军 蒋俊华 高惠平
• 来源期刊: 物理通报
• 关键词: 研究型实验 等离子体化学气相沉积 硅薄膜
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 物理实验教学
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 字数: 3153字
• 语种: 中文

摘要

研究型实验是培养大学生创新意识、创新能力和科学研究素养的重要教学内容。以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备硅基薄膜为例，详细介绍了开展研究型实验教学的实施方法，分析和讨论了此研究型实验对培养学生理论联系实践能力、创新能力和科学研究能力的作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛艳丽	河南大学物理与电子学院	37	268	11.0	15.0
2	蒋俊华	河南大学物理与电子学院	24	46	3.0	5.0
3	田建军	河南大学物理与电子学院	6	13	1.0	3.0
4	高惠平	河南大学物理与电子学院	3	14	2.0	3.0