基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器

• 作者: 丑修建 孔龄婕 安坤 燕乐 贺婷 陈东红
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压电 微加工 能量采集 输出功率
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1770-1773
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.12.006

摘要

高能量密度输出、低频范围响应、环境适应性强的自供电振动能量采集器已成为微能源技术领域的一个重要发展方向。提出一种d31型工作模式下MEMS压电式振动能量采集器，设计八悬臂梁-中心质量块结构代替传统的单悬臂梁结构，利用溶胶-凝胶（Sol-Gel）技术在每个悬臂梁上异质集成制备锆钛酸铅（Pb（Zr0.53Ti0.47）O3，PZT）压电功能厚膜层，通过MEMS工艺和引线键合技术完成器件础结构制造。输出性能测试结果表明，器件一阶谐振频率为41 Hz，3 gn加速度激励下输出电压峰峰值为264.00 mV；在器件两端加载3.00 MΩ负载时输出功率最大，为0.72 nW。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺婷	中北大学电子测试技术重点实验室	9	48	5.0	6.0
2	陈东红	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	27	3.0	5.0
6	安坤	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	15	33	3.0	5.0
10	燕乐	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	54	3.0	3.0
11	孔龄婕	中北大学电子测试技术重点实验室	4	24	3.0	4.0