MEMS加速度传感器在微位移测量中的应用研究

• 作者: 于复生 李欢欢 王波 程启良
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度传感器 微位移 误差分析 研究进展
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: TH822
• 字数: 4038字
• 语种: 中文

摘要

MEMS加速度传感器在微位移测量中有着广泛的应用,文章介绍了目前世界上主要的MEMS加速度传感器研究和生产情况,并针对MEMS加速度传感器在微位移测量方面的应用进行了概述,对其应用领域、研究方法和得出的结论进行了分析与评述,提出了目前存在的问题,并给出了相关的建议,为MEMS加速度传感器的进一步研究和应用提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于复生	山东建筑大学机电工程学院	95	373	11.0	13.0
3	王波	山东建筑大学机电工程学院	16	4	1.0	1.0
9	李欢欢	山东建筑大学机电工程学院	10	29	2.0	5.0
10	程启良	山东建筑大学机电工程学院	8	29	2.0	5.0