TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜膜基结合力测定与分析

• 作者: 丁龙先 张帅拓 张盼盼 张钧
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 划痕实验 TiN/TiCrN/TiCrAlN 复合薄膜 膜基结合力 表面形貌
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TB43
• 字数: 1901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.03.05

摘要

使用划痕仪对多弧离子镀制备的 TiN/TiCrN/TiCrAlN 复合薄膜进行了划痕实验，结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌，综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明，该薄膜的失效形式为周边剥落；单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载荷，需要声信号曲线与划痕形貌的综合判定。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
2	张盼盼	沈阳大学机械工程学院	2	15	2.0	2.0
3	丁龙先	沈阳大学机械工程学院	12	37	4.0	5.0
4	张帅拓	沈阳大学机械工程学院	2	15	2.0	2.0