真空镀膜机比较片机构性能和强度的优化设计

• 作者: 刘旸 杨峰 王彩霞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 比较片 光学薄膜 比较片机构 真空镀膜机
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.03.04

摘要

分析现有光学真空镀膜机比较片机构在使用过程中存在的问题。根据现代光学真空镀膜机的发展趋势和实际生产中急需解决的问题，通过多方面的研究分析，优化设计新一代的镀膜机比较片结构，解决影响光学薄膜质量和超多层精密光学薄膜镀制的问题，以提高薄膜的监控精度，实现系统的自动控制，提高光学真空镀膜机生产效率，降低生产成本。使现代光学真空镀膜机的结构配置及使用效果达到最佳。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨峰		9	17	3.0	3.0
2	刘旸		19	12	2.0	2.0
3	王彩霞		1	0	0.0	0.0