光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

• 作者: 刘健 尚红波 张玲花 郭抗 陈华男
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: ?光机电控制?
• 页码范围: 50-56
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 字数: 3527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2015.06.009

摘要

X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链，设计柔性二级减速机构，并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上，对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步，运用有限元分析法，分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明，该机构调节行程大于±20μm，机构位移输入?输出关系稳定，传动比约11.9，理论调节精度约8.4 nm，机构单方向驱动刚度为0.473μm/N；机构开环单轴运动时，耦合误差与主运动比值为7.1%；机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘健	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	117	2097	25.0	41.0
2	陈华男	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	17	3.0	4.0
3	郭抗	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	63	4.0	7.0
4	张玲花	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	15	3.0	3.0
5	尚红波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	21	2.0	4.0