双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试

• 作者: 李克天 赵荣丽 陈新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双柔性平行六连杆 微动平台 刚度 固有频率 激光干涉仪 多普勒激光测振仪
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2860-2869
• 页数: 10页
• 分类号: TH703|TP273
• 字数: 3635字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152310.2860

摘要

采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台,并对其性能进行了测试.基于柔性铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度,推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数;建立了平台的动力学模型,得到了平台的固有频率解析式.基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台,得到了平台的优化参数.基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立了平台的静动态特性测试系统.对微纳定位平台进行了试验和测试,结果显示:刚度的理论计算值为7.92 N/μm,试验值为7.44 N/μm,误差为6.5％;固有频率的理论模型值为349.9 Hz,实验值为342.2 Hz,误差为2.3％.空载和加载为250、500、2 000、2 250、2 500 g时的平台位移表明加载不均匀会对平台输出位移产生较大的影响,当加载为2 500 g时,不均匀加载对位移的影响量约为均匀加载的5倍.此外,平台最大位移为56.59 μm.重复定位精度测试显示,在施加电压50、100、150 V时,定位平台在同一输入电压下的位移最大偏差为0.896 μm.实验结果表明,建立的双柔性平行六连杆的刚度和固有频率计算模型是正确的,设计的微动平台的最大位移及精度可满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李克天	广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室	113	527	12.0	16.0
2	陈新	广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室	205	2400	22.0	38.0
3	赵荣丽	广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室	37	100	6.0	9.0