磁控溅射沉积Ti/TiN多层膜的组织特征及耐磨损性能

• 作者: 崔文芳 曹栋 秦高悟
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ti/TiN多层膜 磁控溅射 循环周期 组织结构 磨损性能
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 页码范围: 1531-1537
• 页数: 7页
• 分类号: TG178
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2015.00115

摘要

采用固定Ti间隔层厚度,改变TiN层厚度的方法在Ti6Al4V合金表面制备Ti/TiN多层膜,研究循环周期对Ti/TiN多层膜的相结构、形貌特征、结合力、硬度和在模拟人体液中摩擦磨损行为的影响.结果表明,与TiN单层膜相比,Ti/TiN多层膜中TiN由(111)择优取向转变为(200)择优取向,多层膜表面粗糙度、硬度和结合力得到显著改善.增加循环周期降低Ti/TiN多层膜表面硬度,但有利于提高结合强度.多层Ti/TiN膜的强韧化主要来自于TiN层的细晶强化和界面共格强化效应.当TiN与Ti层厚度比为30,循环周期为3时,Ti/TiN多层膜具有良好的综合性能,硬度为15.8 GPa,结合强度为50N,摩擦系数为0.35,体积磨损率低于4.0× 10-6 mm3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔文芳		28	329	10.0	17.0
2	曹栋		1	0	0.0	0.0
3	秦高悟		1	0	0.0	0.0