电阻应变式位移传感器电路设计与实现

• 作者: 徐立松 李佩玥 李朋志 葛川
• 来源期刊: 国外电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 应变 位移传感器 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN721.1
• 字数: 1716字
• 语种: 中文

摘要

超精密平台中使用压电陶瓷驱动器提供位移进给，采用集成应变式位移传感器的驱动器能够减小磁滞与蠕变特性，提高位移控制精度。设计并实现应变式位移传感器位移检测电路，介绍电阻应变式位移传感器位移测量原理；设计位移传感器电路，采用仪表放大器、同相衰减器与低通滤波器电路得到正比于位移变化的电压信号并输出；最后对位移传感器电路进行实验验证。实验结果表明：设计的传感器检测电路的电噪声峰‐峰值为0．390mV，输出电压分辨率小于0．6mV，对应的位移传感器的分辨可达1 nm ，能够有效提高压电陶瓷的精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	37	273	10.0	14.0
2	徐立松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	9	84	5.0	9.0
3	李朋志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	8	66	4.0	8.0
4	葛川	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心	7	99	5.0	7.0